光阻剝離液（Stripper）製程或其廢液回收再利用製程 | 特用化學品大廠輸送C4H11NO2+NH2OH：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050
【應用領域】
光阻剝離液（Stripper）製程或其廢液回收再利用製程 | 特用化學品大廠輸送C4H11NO2+NH2OH：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050
在半導體與顯示器製造過程中，光阻剝離液（Stripper）為關鍵濕製程化學品之一，其主要成分如 2-(2-氨乙氧基)乙醇（C₄H₁₁NO₂）與氫氧胺（NH₂OH）具備高腐蝕性與強反應性，廣泛應用於光阻去除、微影後清洗等關鍵步驟。為確保最終產品純度與製程穩定性，整體系統需具備高潔淨度、無洩漏輸送與耐化學性等條件。
製程初期，原料經由粉體入料區、補料區與清潔接頭區投入混合槽中，透過自動控制攪拌與溫控，生成高效能剝離液。混合完成後，液體將透過 SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050 輸送至後段系統。MET-050 採用無軸封結構，搭配高耐蝕材質（如 PFA），可有效應對含氨有機溶劑與氧化性成分的輸送挑戰。
MET-050 具備以下核心優勢：
完全無洩漏設計：避免氫氧胺等有害氣體逸散，保障操作安全與環境品質。
高潔淨輸送能力：無金屬污染，符合半導體等電子級製程要求。
長時間穩定運轉：適用於連續性化學品混合與供液應用。
結構簡潔、維護簡便：有助於降低系統整體運行成本。
液體經 MET-050 穩定輸送後，將進入過濾槽進行微粒去除，再至桶裝站進行自動分裝，最終產出高品質光阻剝離液，供製程線直接使用。
此外，針對使用後剝離液之廢液回收再利用需求， MET-050 同樣可應用於廢液集中、中和處理、過濾與再生段輸送。其無洩漏與高耐蝕特性，特別適合含有 C₄H₁₁NO₂、NH₂OH、有機殘留與微量金屬離子的高風險液體，有效提升回收率並降低環境負荷。
整體而言，SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050 為光阻剝離液製程提供潔淨、安全與穩定的關鍵輸送能力，是建立高效製程與永續回收系統的理想選擇。
【產品特色】
SEIKOW無軸封泵浦（鐵氟龍內襯泵/Teflon Lining Pump) MET-050 是一款專為中小流量、高腐蝕性液體輸送應用所設計的高效解決方案，兼具穩定性、耐蝕性與操作靈活性，廣泛應用於多種關鍵製程中。
MET-050 用於如電子半導體、化學加工、鋼鐵製程與廢液處理等對液體控制要求極高的產業環境。其泵體內襯採用高化學相容性的材質（PFA、PVDF 或 ETFE），具備卓越的抗腐蝕能力與熱穩定性，可長時間穩定運作於酸性、鹼性或具反應性之化學液體環境中，操作溫度最高可達 120°C。
在性能表現方面，MET-050 提供最大流量 400 L/min、最高揚程 30 m 的強勁輸送能力，能對應中大型系統中各單元之間的液體輸送需求，尤其適用於反應槽、脫水機、結晶系統與廢液處理設備等連續性製程關鍵節點。
此外，MET-050 採用模組化設計，結構簡潔，具備高效率運作特性，不僅能有效降低維護頻率與停機時間，也有助於提升整體產線穩定性與運作效率。其無軸封磁力驅動機構則能杜絕液體洩漏風險，進一步保障製程潔淨度與操作安全。
選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050，即是為您的高腐蝕性製程導入更安全、更穩定、且更高效的液體輸送系統，為關鍵應用提供強而有力的支持。
★ 最大流量: 400 L/min
★ 最高揚程: 30 m
【品牌特色】
耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀
SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市，72年來始於鑽研硬質PVC加工技術，爾後致力開發耐腐蝕性材料，如氟素樹脂：PTFE（即鐵氟龍/ Teflon）、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬（Ti）、碳化矽陶瓷（Sic）等，運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。
耐腐蝕領域專業廣受業界信賴
SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器，為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。
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