廢硫酸回收純化系統使用ppt級高品質電子級硫酸高階製程 | 特用化學廢液回收再製廠輸送硫酸（H2SO4）：SEIKOW 無軸封泵浦 MTA-040
【應用領域】
廢硫酸回收純化系統使用ppt級高品質電子級硫酸高階製程 | 特用化學廢液回收再製廠輸送硫酸（H2SO4）：SEIKOW 無軸封泵浦 MTA-040
隨著先進半導體製程對電子級硫酸純度與製程穩定性的要求持續提升，回收再利用的廢硫酸必須經過高效純化程序，確保最終產品達到PPT級超高純度標準。此製程不僅面對硫酸的強腐蝕性與高濃度輸送挑戰，亦要求設備長時間穩定運轉，且絕對無洩漏。
SEIKOW 無軸封泵浦 MTA-040 專為高腐蝕性化學品輸送而設計，採用高耐蝕PFA內襯與無軸封磁力驅動結構，徹底解決硫酸洩漏與金屬污染風險，為高階晶圓廠提供穩定可靠的液體輸送方案。
在電子級硫酸純化製程中，回收自製程廢氣系統的廢硫酸，首先進入發煙硫酸槽進行集中與緩衝，經由 MTA-040 穩定輸送至蒸發槽脫水去雜。脫除水分與揮發性雜質後，氣體混合物通過除霧槽去除酸霧，保護後段設備免受腐蝕。
隨後，液氣混合物流入吸收塔，完成深度氣液分離與雜質吸收。純化後的硫酸經過冷卻槽降溫穩定，並進入混合槽調整濃度與純度，接續進行剝離塔處理，去除殘餘微量雜質。最終成品經由第二段冷卻槽降溫，送入電子級硫酸儲存槽，供製程回用。
此外，為實現製程閉環與資源循環，未完全反應的物料將透過回流系統返回前段，提升整體製程效率與環保效益。此一高腐蝕、高純度液體循環輸送過程，對設備密封性、耐久性與輸送性能皆為重大考驗，SEIKOW 無軸封泵浦 MTA-040 正是關鍵解決方案。
半導體泵浦 - SEIKOW LINING 無軸封泵浦 MTA-040 憑藉高耐腐蝕、無洩漏設計與卓越的連續運轉穩定性，成為晶圓廠電子級硫酸純化與回收製程中的核心設備，協助客戶實現高良率、高效率與綠色製造的永續目標。
【產品特色】
SEIKOW無軸封泵浦（鐵氟龍內襯泵/Teflon Lining Pump）MTA-040 是一款高流量 × 高揚程 × 高純度的極致表現
該系列泵浦專為高流量、高揚程、高腐蝕性與高純度製程而生，是嚴苛工況下的理想解決方案。其核心採用高純度 PFA 材質內襯，展現卓越的耐化學性與抗污染能力，滿足對液體品質與安全性要求極高的製程條件。
MTA 系列 具備最大流量高達5000 L/min、最高揚程達80 m 的頂尖性能，並可耐受高達120°C 的操作溫度，在高負載與高溫環境下依然穩定運轉，充分展現其優異的工程設計與耐用性。
專為電子與半導體業、化學加工、石化塑橡膠業與鋼鐵產業量身打造，MTA 系列可完美對應大規模製程設備對流量與輸送壓力的嚴苛需求。其無軸封結構有效防止洩漏，提升設備運行的安全性與潔淨度，特別適用於對液體控制要求極高的應用環境。
其中 MTA-040 機型為中小流量應用提供靈活選擇，具備最大流量300 L/min、最大揚程80 m 的強勁性能，延續 MTA 系列 的高標準設計，亦能適應多樣工藝流程。
結合強大性能、優異耐腐蝕性與低維護特性，選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MTA-040，是您追求高效、安全、可靠製程運作的首選。
★ 最大流量: 300 L/min
★ 最高揚程: 80 m
【品牌特色】
耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀
SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市，72年來始於鑽研硬質PVC加工技術，爾後致力開發耐腐蝕性材料，如氟素樹脂：PTFE（即鐵氟龍/ Teflon）、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬（Ti）、碳化矽陶瓷（Sic）等，運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。
耐腐蝕領域專業廣受業界信賴
SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器，為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。
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