光阻稀釋劑（Thinner）製程或其廢液回收再利用製程 | 特用化學品大廠輸送丙二醇甲醚（PGME 99%）：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050
【應用領域】
光阻稀釋劑（Thinner）製程或其廢液回收再利用製程 | 特用化學品大廠輸送丙二醇甲醚（PGME 99%）：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050
在光電與半導體製程中，光阻稀釋劑（Thinner）如丙二醇甲醚（PGME 99%）常用於光阻塗佈濃度調整，其高純度與高揮發性使整體儲存與輸送系統需具備極高的潔淨性、密閉性與化學耐受性。為確保製程穩定性與資源再利用效率，整體系統自原料儲存至槽車分裝與回收階段，均需經過嚴格控制的處理流程。
製程起始於丙二醇甲醚經前置過濾單元去除大顆粒雜質後，導入原料儲存槽儲存備用。 SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050 隨後將儲存液穩定輸送至配管系統，進行後段的槽車填充作業或送往使用端。系統設有回流管線，可將槽車卸料過程中的殘液或回收用液再導回儲槽進行循環再利用，提升使用效率並減少廢液排放。
MET-050 採用無軸封構造與高耐腐蝕全氟材質（如 PFA），適用於輸送高純度有機溶劑，並具備以下優勢：
完全無洩漏設計：密封結構可防止 PGME 揮發逸散，維護潔淨操作環境與操作人員安全。
高耐化學性：適用於 PGME 等有機溶劑，確保長時間輸送不受腐蝕損耗。
潔淨無金屬污染：適合用於光電、半導體製程，不影響後段高純度製程需求。
長時間穩定運轉：支援連續製程及廢液回收系統穩定運行，提升整體製程效率。
低維護成本：無需定期更換軸封部件，降低操作與保養負擔。
整體系統亦可依需求整合流量監控與壓力感測裝置，進一步提升操作安全性與自動化程度。SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050 為光阻稀釋劑製程提供潔淨、安全且高效率的輸送能力，是高純度有機溶劑處理的最佳解決方案。
【產品特色】
SEIKOW無軸封泵浦（鐵氟龍內襯泵/Teflon Lining Pump) MET-050 是一款專為中小流量、高腐蝕性液體輸送應用所設計的高效解決方案，兼具穩定性、耐蝕性與操作靈活性，廣泛應用於多種關鍵製程中。
MET-050 用於如電子半導體、化學加工、鋼鐵製程與廢液處理等對液體控制要求極高的產業環境。其泵體內襯採用高化學相容性的材質（PFA、PVDF 或 ETFE），具備卓越的抗腐蝕能力與熱穩定性，可長時間穩定運作於酸性、鹼性或具反應性之化學液體環境中，操作溫度最高可達 120°C。
在性能表現方面，MET-050 提供最大流量 400 L/min、最高揚程 30 m 的強勁輸送能力，能對應中大型系統中各單元之間的液體輸送需求，尤其適用於反應槽、脫水機、結晶系統與廢液處理設備等連續性製程關鍵節點。
此外，MET-050 採用模組化設計，結構簡潔，具備高效率運作特性，不僅能有效降低維護頻率與停機時間，也有助於提升整體產線穩定性與運作效率。其無軸封磁力驅動機構則能杜絕液體洩漏風險，進一步保障製程潔淨度與操作安全。
選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MET-050，即是為您的高腐蝕性製程導入更安全、更穩定、且更高效的液體輸送系統，為關鍵應用提供強而有力的支持。
★ 最大流量: 400 L/min
★ 最高揚程: 30 m
【品牌特色】
耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀
SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市，72年來始於鑽研硬質PVC加工技術，爾後致力開發耐腐蝕性材料，如氟素樹脂：PTFE（即鐵氟龍/ Teflon）、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬（Ti）、碳化矽陶瓷（Sic）等，運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。
耐腐蝕領域專業廣受業界信賴
SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器，為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。
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