清洗與蝕刻製程廢氣處理 | 半導體封裝大廠輸送有機溶劑揮發物(VOCs):SEIKOW FRP製渦輪式(透浦式)風車 FTF-MC
【應用領域】
清洗與蝕刻製程廢氣處理 | 半導體封裝大廠輸送有機溶劑揮發物(VOCs):SEIKOW FRP製渦輪式(透浦式)風車 FTF-MC
在半導體封裝與先進製程中,清洗(Cleaning)與蝕刻(Etching)流程會使用多種化學藥液與有機溶劑,因此會產生含有 VOCs(有機揮發性物質)、酸性氣體、腐蝕性蒸氣的混合性廢氣。這些廢氣若未能有效收集與輸送,不僅會造成製程污染,更可能危及作業環境的安全。
為因應這些廢氣處理需求,SEIKOW 推出了 FTF-MC系列的FRP製渦輪式風車,能提供穩定可靠的輸送能力,適用於半導體封裝大廠處理有機溶劑揮發物及酸性腐蝕性氣體的應用場景。
FTF-MC系列渦輪風車 在清洗/蝕刻廢氣處理製程中的核心功能
廢氣輸送(含 VOCs、酸性氣體):以其高效風量與耐腐蝕結構,能穩定將廢氣從製程設備中抽取並輸送至後端處理系統,避免氣體外洩所造成的污染與安全風險。
穩定的運行控制:通過變頻器控制,FTF-MC系列 可依製程廢氣量實際變動,精準調整轉速,使整個排氣系統保持最佳運行條件。
高效節能與低維護成本:使其特別適用於半導體封裝廠全年不間斷運作的廢氣處理系統。
清洗/蝕刻廢氣處理系統流程介紹:
廢氣吸入與輸送:清洗與蝕刻製程所產生的 VOCs、酸性氣體與微粒,首先由製程設備或整體抽氣系統吸入,並藉由 FTF-MC系列渦輪風車 進行高效輸送。
廢氣處理系統:這些廢氣隨後進入專門的廢氣處理設施,如吸收塔、洗滌塔或冷凝回收,在此過程中,氣體將依序經過吸收/中和、過濾與VOCs 去除或回收等處理步驟,確保排放符合環保標準。
達成環保排放標準:經處理後的廢氣,可安全排放至大氣,兼顧環保法規與廠內作業人員的健康安全。
FTF-MC系列渦輪風車 為半導體封裝大廠提供了一套安全、節能且高效的廢氣輸送與處理解決方案。
【產品特色】
SEIKOW馬達直動及直結式風車 FRP製渦輪式(透浦式)風車 - FTF-MC - 高效能 × 低維護 的頂尖選擇
FTF-MC系列風車 採FRP製渦輪式(透浦式)結構,專為滿足現代工業對高效能與低維護的雙重需求而設計。本系列採用聯軸器直結設計,搭配高強度纖維增強塑料(FRP)製成的機體,不僅大幅提升耐蝕與耐用性,更顛覆了傳統大型風車繁複的維護模式,實現高效率、穩定且易於保養的運轉體系,適用於各類工業應用場域。
具備最大風量 1,650 m³/min、最高靜壓 3.8 kPa 的優異性能,可輕鬆應對各種高需求的通風與氣流系統。 此外,可在最高80°C的環境下穩定運行,並支援變頻器調速控制,使風量與轉速可依需求精準調整,進一步提升整體節能效率。
在維護設計上,FTF-MC 同樣表現出卓越的貼心考量。外殼設有大型檢修與清潔口,使維護作業更加便利並確保長期穩定運轉。支援變頻調速功能則可讓用戶靈活控制運行狀態,達到最佳節能與效能平衡。
本系列風車廣泛應用於需穩定風量與高風壓的工業領域,特別適合對維護要求嚴格的生產環境。憑藉其低維護特性,能有效降低設備故障風險與停機時間,為使用者提供持久穩定的運行保障。
選擇 SEIKOW馬達直動及直結式風車 FRP製渦輪式(透浦式)風車 - FTF-MC 即是選擇一套兼具高效能、可靠性與經濟性的風機系統,讓您的設備運行更穩定、更節能、更值得信賴。
★ 最大流量: 1,650 m³/min
★ 最高靜壓 3.8 kPa
【品牌特色】
耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀
SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市,72年來始於鑽研硬質PVC加工技術,爾後致力開發耐腐蝕性材料,如氟素樹脂:PTFE(即鐵氟龍/ Teflon)、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬(Ti)、碳化矽陶瓷(Sic)等,運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。
耐腐蝕領域專業廣受業界信賴
SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器,為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。
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