半導體晶圓製程 | 矽晶圓廠輸送氫氧化鈉（NaOH）：SEIKOW 無軸封泵浦 MER-051

【應用領域】

半導體晶圓製程 | 矽晶圓廠輸送氫氧化鈉（NaOH）：SEIKOW 無軸封泵浦 MER-051

在晶圓製造流程中，清洗、蝕刻、離子注入前後處理及廢液中和等關鍵製程，皆仰賴多種高純度、具強腐蝕性的化學液體進行控制。為確保製程穩定、提升良率並防止微粒污染與設備損耗，液體輸送系統需具備極高的潔淨度、耐蝕性與運轉穩定性。

SEIKOW 無軸封泵浦 MER-051 正是針對半導體製程中高純液體傳輸需求所開發，採用精巧機身設計與優化葉輪結構，不僅可在狹小空間中靈活配置，亦能實現高效率、高揚程的穩定輸送表現。全機採用高耐蝕性材料（如PVDF、ETFE），並搭載無軸封磁力驅動結構，有效防止液體洩漏與金屬汙染，確保化學品純度不受影響。

適用於從原液儲存槽到各製程模組間的穩定輸送作業，無論是酸鹼清洗液、蝕刻液或中和處理後廢液，皆能精準控制流量與壓力條件，支援高精度製程要求。其優異的氣密性與空轉耐受設計，亦大幅提升系統運作彈性與可靠性。

SEIKOW 無軸封泵浦 MER-051 憑藉其高耐腐蝕性、潔淨輸送能力與長時間穩定運轉表現，為先進晶圓製造流程提供安全、高效且可靠的液體輸送解決方案，是建構高良率、高可靠性製程設備的理想選擇。

【產品特色】

SEIKOW無軸封泵浦（鐵氟龍內襯泵/Teflon Lining Pump）MER-051 是一款精巧設計，穩定運轉的高效選擇

該系列泵浦專為一般製程需求而打造，機型設計精巧，能靈活安裝於各種系統環境中，有效提升空間利用率。搭載經過優化設計的葉片結構，進一步實現高效率運轉，確保流體輸送穩定可靠。

MER 系列 具備最大流量高達350 L/min、最高揚程達25 m 的穩定性能，支援最高操作溫度達90°C，泵體採用高耐蝕性的 PVDF 與 ETFE 材質，搭配無軸封結構，大幅降低液體洩漏風險，並有效對應各種具腐蝕性或高純度液體之應用，廣泛適用於電子與半導體製程、化學加工、石化塑橡膠業與鋼鐵產業等。

MER-051 可輕鬆應對多變的製程條件，並確保長時間連續運行下仍維持穩定效能，低維護、高可靠性設計不僅降低運行成本，也縮短維修時程，使您的製程系統持續高效運作、不中斷。

選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MER-051，為您的製程系統帶來更安全、精巧與高效率的運作體驗。