電子級高純度磷酸製程 | 製造廠輸送電子級高純度磷酸磷酸（H3PO4）：SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100
【應用領域】
電子級高純度磷酸製程 | 製造廠輸送電子級高純度磷酸磷酸（H3PO4）：SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100
在電子與化學加工產業中，電子級磷酸（H₃PO₄）因具備高純度、低金屬離子含量等特性，被廣泛應用於半導體蝕刻、光電清洗、及精密化學反應等高階製程。為確保最終產品品質穩定，磷酸自儲存至最終使用階段，需經過多道嚴格控制的處理流程，而整體系統對液體輸送設備的要求亦相當嚴苛，包括高耐腐蝕性、無洩漏設計、與無微粒污染等標準。
製程起始於高純度磷酸儲槽，首先通過初級精密過濾系統，去除磷酸中可能存在的微粒雜質，防止後段設備堵塞或造成製程異常。SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100 隨後進行輸送，其採用耐強酸材質與無軸封構造，不僅可有效防止洩漏與金屬析出，亦具備高流量與長時間穩定運轉能力，特別適用於對輸送潔淨度要求極高的電子級化學品。
經 MSX-100 輸送後，部分磷酸將進入冷卻處理系統，進行降溫以因應特定製程溫度需求。穩定提供所需流量與壓力，確保整體熱控系統正常運作。冷卻後的磷酸，或部分未經冷卻的原液，將進一步通過廢液洗滌與二次過濾處理，最終輸出為電子級 H₃PO₄，進入後段製程如CMP（化學機械研磨）或濕式蝕刻等。
此外，整個系統亦設有廢液收集與回收機制，可依需要進行排放或再利用，提升資源效率並降低環境負荷。
整體而言，SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100 為電子級磷酸製程提供了潔淨、高效與安全的輸送能力，是協助高純度化學製程升級、穩定生產品質的關鍵夥伴。
【產品特色】
SEIKOW 無軸封泵浦（鐵氟龍內襯泵/Teflon Lining Pump）MSX系列 是一款高流量 × 高耐蝕 × 高可靠性的極致輸送表現
採用高純度 PFA 材質作為機體內襯，具備卓越的化學抗蝕性能，可長時間穩定運行於強酸、強鹼與高純度液體環境中。其無金屬接液設計，有效防止液體污染與設備腐蝕損耗，確保製程穩定性與產品潔淨度。
性能方面，MSX 系列 擁有最大流量高達3000 L/min，最高揚程可達40 m 的強勁輸送能力，並可承受高達 150°C 的操作溫度，即使在高負載與高溫環境下，亦能持續穩定運作，展現優異的耐用性與可靠性。
該系列搭載 SEIKOW 獨家開發的無軸封結構，可徹底杜絕洩漏風險，提升整體製程的潔淨度與安全性，並大幅降低日常維護與長期營運成本。此設計特別適合應用於對液體品質、設備穩定性要求極高的關鍵製程中。
MSX-100 具備最大流量 2000 L/min、最大揚程 30 m 的輸送能力，廣泛應用於電子與半導體製程、化學加工、石化、塑橡膠等產業，特別適合中大型製程設備中的關鍵輸送環節，有效應對大量液體與高腐蝕性介質的嚴苛挑戰。
選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100 ，即是為您的製程系統導入高效率、高潔淨度與高可靠性的動力核心，協助打造穩定、安全且長效運作的生產環境。
★ 最大流量: 3000 L/min
★ 最高揚程: 40 m
【品牌特色】
耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀
SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市，72年來始於鑽研硬質PVC加工技術，爾後致力開發耐腐蝕性材料，如氟素樹脂：PTFE（即鐵氟龍/ Teflon）、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬（Ti）、碳化矽陶瓷（Sic）等，運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。
耐腐蝕領域專業廣受業界信賴
SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器，為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。
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