半導體廠使用電子級硫酸（H2SO4）製程 | 輸送硫酸（H2SO4）：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040
【應用領域】
半導體廠使用電子級硫酸（H2SO4）製程 | 輸送硫酸（H2SO4）：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040
在化學加工產業的製程中，電子級化學品（如硫酸 H₂SO₄）廣泛應用於清洗、表面處理及濕式製程。製程各階段除需確保化學品的純度與輸送穩定性外，亦會產生含有微量化學藥劑的廢液。此類廢液須經妥善收集、輸送與處理，以確保符合環境排放及資源回收再利用標準。
在製程供酸階段，電子級硫酸由儲槽經由 SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040 穩定輸送至各製程設備。MET-040 採用高耐腐蝕材料與無軸封結構，可適用於高純度酸性液體環境，作為半導體泵浦使用，可有效確保流量穩定並降低管線污染風險。
於製程後段，來自各清洗站或反應槽的廢液（可能含有微量硫酸或反應殘留物）需先進行區域收集，然後再輸送至中央集中處理系統。MET-040 可作為廢液轉送設備，將廢液穩定輸送至集中槽，避免交叉污染並維持系統的密閉性。
完成中和後，廢水將進入後續沉澱、過濾及純化處理單元。在此過程中，穩定且低污染風險的液體輸送，搭配半導體泵浦使用，可有效維持過濾系統效率，並降低耗材更換頻率。
最終，處理達標之回收水可部分回送至前段製程，用於預洗或一般清洗，形成閉路循環系統。在長時間連續運轉環境中，MET-040 提供穩定的輸送能力與優良的耐蝕特性，有助於提升整體系統可靠度及運行穩定性。
【產品特色】
SEIKOW無軸封泵浦（鐵氟龍內襯泵/Teflon Lining Pump) MET-040 是一款專為中小流量製程打造的高效解決方案
該系列泵浦專為中至小流量製程設計，結合高性能與廣泛適用性，是各種精密製程中不可或缺的設備。其核心採用高純度 PFA 材質內襯，有效對抗腐蝕性液體，確保長期運轉下的穩定性與安全性。
MET 系列 具備最大流量高達400 L/min，最高揚程達40 m 的強勁性能，並支援最高操作溫度達120°C，可因應多種嚴苛環境需求。不論是高溫、高腐蝕性或需高穩定性的作業條件，皆能發揮優異表現。此外，其模組化設計與低維護特性，顯著降低維修成本與停機時間，提升整體製程效率與產線穩定性。
憑藉其無軸封設計，MET-040 具備最大流量100 L/min，最高揚程達40 m，能有效杜絕液體洩漏風險，提升整體操作安全性，特別適用於電子半導體、化學加工、鋼鐵製程與廢棄物處理等對液體控制要求極高的產業。
選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040，讓您的製程運作更安全、更穩定、更值得信賴。
★ 最大流量: 100 L/min
★ 最高揚程: 40 m
【品牌特色】
耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀
SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市，72年來始於鑽研硬質PVC加工技術，爾後致力開發耐腐蝕性材料，如氟素樹脂：PTFE（即鐵氟龍/ Teflon）、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬（Ti）、碳化矽陶瓷（Sic）等，運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。
耐腐蝕領域專業廣受業界信賴
SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器，為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。
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