矽晶圓製程 | 晶圓廠輸送去離子水（DI Water）：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040

【應用領域】

矽晶圓製程 | 晶圓廠輸送去離子水（DI Water） ：SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040

在電子與半導體產業的矽晶圓製程中，製程各階段會產生含有微量化學藥劑的 DI 廢液，這些廢液需經過精密收集、輸送與處理程序，才能符合環保排放或回收標準。為確保廢液處理系統運行安全且不影響水質純度，需採用具備高化學相容性與無污染特性的輸送設備。

SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040 專為中至小流量應用設計，具備自吸功能與優異的耐腐蝕性能，能廣泛應用於矽晶圓製程多個處理階段。

製程初期，來自不同製程站的 DI 廢液（可能含有酸鹼或反應後化學殘留）經由 MET-040 輸送至集中收集槽，有效防止交叉污染並維護管線與環境清潔。

在 pH 中和處理前，MET-040 可精準輸送液體等中和藥劑進入中和槽。泵浦本體採無軸封設計，能避免藥劑洩漏導致設備腐蝕或人員安全風險，特別適合處理高純度、具腐蝕性的化學液體。

完成中和處理後，廢水進入過濾與純化處理系統，MET-040 可確保流體傳輸過程無微粒脫落，有助於維持高純度水質並降低濾材污染與維護頻率。

最終處理合格的回收水，部分可回送至前段製程用作預洗或低等級 DI 水用途。在此閉路循環系統中，無軸封泵浦 MET-040 提供穩定且無污染的長時間運行能力，確保回收水品質與生產效率兼具。

【產品特色】

該系列泵浦專為中至小流量製程設計，結合高性能與廣泛適用性，是各種精密製程中不可或缺的設備。其核心採用高純度 PFA 材質內襯，有效對抗腐蝕性液體，確保長期運轉下的穩定性與安全性。

MET 系列具備最大流量高達400 L/min，最高揚程達40 m 的強勁性能，並支援最高操作溫度達120°C，可因應多種嚴苛環境需求。不論是高溫、高腐蝕性或需高穩定性的作業條件，皆能發揮優異表現。此外，其模組化設計與低維護特性，顯著降低維修成本與停機時間，提升整體製程效率與產線穩定性。

憑藉其無軸封設計，MET-040 具備最大流量100 L/min，最高揚程達40 m，能有效杜絕液體洩漏風險，提升整體操作安全性，特別適用於電子半導體、化學加工、鋼鐵製程與廢棄物處理等對液體控制要求極高的產業。

選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MET-040，讓您的製程運作更安全、更穩定、更值得信賴。

★ 最大流量: 100 L/min
★ 最高揚程: 40 m

【品牌特色】

耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀

SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市，72年來始於鑽研硬質PVC加工技術，爾後致力開發耐腐蝕性材料，如氟素樹脂：PTFE（即鐵氟龍/ Teflon）、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬（Ti）、碳化矽陶瓷（Sic）等，運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。

耐腐蝕領域專業廣受業界信賴

SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器，為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。

SEIKOW主要產品

耐腐蝕泵浦、耐腐蝕風車、環境裝置（洗滌塔）

【相關產品】

最大流量 : 100 L/min 最高揚程 : 40m