半導體級高純度氫氟酸廢液回收製程 | 半導體記憶體大廠輸送氫氟酸（HF）廢液：SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100
【應用領域】
半導體級高純度氫氟酸廢液回收製程 | 半導體記憶體大廠輸送氫氟酸（HF）廢液：SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100
在半導體產業中，氫氟酸（HF）廣泛應用於晶圓蝕刻與清洗製程，其廢液具備高腐蝕性、高危險性及高純度敏感性等特性，對回收系統與液體輸送設備提出極為嚴苛之要求。於半導體記憶體製造大廠中，HF廢液需透過完整且密閉之回收流程進行處理，以確保製程穩定性與環境安全性。
製程中，HF廢液首先導入收集槽進行集中管理，經初級過濾去除微粒與懸浮雜質後，輸送至中和槽進行pH調整。隨後進入分離與濃縮系統進一步處理，最終依回收結果分流至回收酸液儲槽或廢液處理系統。整體流程需維持密閉輸送、低污染風險及穩定連續運轉之操作條件。
在此應用中，SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100 用於各製程單元間之化學液體輸送，包括廢液收集、過濾、中和及後段處理系統。設備採用高純度氟樹脂（PFA等級）流體接觸部材與無軸封結構設計，能於高腐蝕性化學環境中實現長時間連續穩定運轉，有效輸送高純度氫氟酸（HF）廢液，同時降低金屬污染與洩漏風險，提升整體製程安全性與可靠性。
MSX-100 具備無軸封設計，可消除傳統軸封洩漏風險，並降低外部污染物進入系統之可能性，同時抑制金屬離子析出，確保液體純度穩定。其穩定之流量輸出能力及耐空轉設計，亦適用於長時間連續運轉條件，有效提升系統可靠度並降低維護頻率與成本。
整體而言，MSX-100 可為半導體級氫氟酸廢液回收製程提供安全、潔淨且高效率之輸送解決方案，為高穩定性與高可靠性回收系統之關鍵核心設備。
【產品特色】
SEIKOW 無軸封泵浦（鐵氟龍內襯泵/Teflon Lining Pump）MSX系列 是一款高流量 × 高耐蝕 × 高可靠性的極致輸送表現
採用高純度 PFA 材質作為機體內襯，具備卓越的化學抗蝕性能，可長時間穩定運行於強酸、強鹼與高純度液體環境中。其無金屬接液設計，有效防止液體污染與設備腐蝕損耗，確保製程穩定性與產品潔淨度。
性能方面，MSX 系列 擁有最大流量高達3000 L/min，最高揚程可達40 m 的強勁輸送能力，並可承受高達 150°C 的操作溫度，即使在高負載與高溫環境下，亦能持續穩定運作，展現優異的耐用性與可靠性。
該系列搭載 SEIKOW 獨家開發的無軸封結構，可徹底杜絕洩漏風險，提升整體製程的潔淨度與安全性，並大幅降低日常維護與長期營運成本。此設計特別適合應用於對液體品質、設備穩定性要求極高的關鍵製程中。
MSX-100 具備最大流量 2000 L/min、最大揚程 30 m 的輸送能力，廣泛應用於電子與半導體製程、化學加工、石化、塑橡膠等產業，特別適合中大型製程設備中的關鍵輸送環節，有效應對大量液體與高腐蝕性介質的嚴苛挑戰。
選擇 SEIKOW 無軸封泵浦 MSX-100 ，即是為您的製程系統導入高效率、高潔淨度與高可靠性的動力核心，協助打造穩定、安全且長效運作的生產環境。
★ 最大流量: 3000 L/min
★ 最高揚程: 40 m
【品牌特色】
耐腐蝕獨家成型技術累積超過半世紀
SEIKOW創業於1952年日本兵庫縣明石市，72年來始於鑽研硬質PVC加工技術，爾後致力開發耐腐蝕性材料，如氟素樹脂：PTFE（即鐵氟龍/ Teflon）、PFA、ETFE、PVDF、以及PE、PP、FRP、鈦金屬（Ti）、碳化矽陶瓷（Sic）等，運用於各類耐腐蝕化學裝置及機器之製造。
耐腐蝕領域專業廣受業界信賴
SEIKOW專於研發、製造、銷售各類耐腐蝕化學裝置及機器，為半導體、化學、鋼鐵、醫療等各類型業界製程及廢棄物資源化處理所廣泛使用。
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