洗淨製程 | 半導體晶圓大廠輸送光阻剝離液（Stripper）：SANWA MPM2多段式&MP中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦

【應用領域】

洗淨製程 | 半導體晶圓大廠輸送光阻剝離液（Stripper）：SANWA MPM2多段式 & MP中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦

 

在半導體晶圓製造過程中，光阻剝離液（Stripper）為關鍵濕製程化學品之一，廣泛應用於微影後的光阻去除與精密清洗工段。其主要成分具高腐蝕性、強反應性與高純度要求，對輸送設備之密封性、耐化學性及潔淨度提出極高標準。

 

在此類嚴苛條件下，SANWA MPM2多段式 & MP 中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦，可提供安全、潔淨且穩定的化學液輸送解決方案，廣泛應用於半導體大廠的 Stripper 供液與回收系統。

 

於製程初期，剝離液原料經由混合槽進行自動攪拌與溫控反應後，形成高效能Stripper溶液。完成後之化學液需透過高潔淨輸送系統，送往後段過濾、儲存與供液單元。

 

在此過程中：

 

液體經由泵浦穩定輸送後，進入過濾系統進行微粒去除，再供應至製程設備或進行分裝。於廢液端亦可應用於剝離液之集中、再生與回收輸送，建立完整循環系統。

 

綜合而言，SANWA MPM2 多段式 & MP中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦，能在光阻剝離液（Stripper）等高腐蝕、高純度需求之半導體濕製程中，提供零洩漏、高潔淨且長期穩定之輸送性能。透過無軸封磁力驅動結構與高耐磨SiC軸承設計，有效降低粒子污染與設備故障風險，同時減少維護與備品需求，為半導體製程建立高效、穩定且可靠之化學品輸送系統。

 

 

 

【產品特色】

MPM2 多段式離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦 採多段式結構設計，具高揚程與大流量輸送能力，適用長距離及高壓差系統。

 

- 採磁力驅動無軸封設計，完全消除洩漏風險，提升輸送安全性。
- 泵體採SUS316不鏽鋼材質，具優異耐腐蝕性與機械強度，適用高階製程環境。
- 標準搭載SiC軸承系統，具低磨耗與高穩定性，支援長時間連續運轉。
- 適用於高揚程輸送、系統循環及儲槽移送等應用。

 

 

★ 最大流量: 260 L/min
★ 最高揚程: 110 m

 

 

MP 中型離心式不鏽鋼磁力泵浦 具無軸封、高可靠性與免維護三大設計特點，可有效降低設備整體運轉成本（TCO），為中型至大型輸送系統的標準選擇。

 

- 採磁力驅動結構，完全消除軸封磨損與洩漏風險，提升運轉安全性。
- 標準搭載SiC-D軸承系統，提供穩定支撐與長時間連續運轉能力。
- 適用於中型輸送系統，具良好流量與揚程表現。

 

 

 

★ 最大流量: 1,300 L/min
★ 最高揚程: 120 m

 

 

【品牌特色】

 

SANWA 創立90年，1983年成功研發出日本第一台不鏽鋼無軸封泵浦，至2010年SANWA PUMP日本市佔率已超過九成。

 

SANWA PUMP 應用廣泛，舉凡石油化學工業、液晶半導體、新能源、及食品醫藥產業皆有豐富的交貨實績。

 

SANWA不鏽鋼無軸封泵浦三大特點：

 

  (1) 使用壽命長：完全不洩漏，因SANWA PUMP使用高耐蝕性及強度不鏽鋼材質，且為完全密封構造，可長時間安全輸送危險及高價液體，維持穩定運轉。 

 

  (2) 使用方式簡易：SANWA PUMP不使用機械軸封，且內部為積木式構造，將零件數量最小化，拆裝及維修上毋須專業技術人員。
也因為使用簡易，深受各應用產業客戶肯定，SANWA並進一步建立縮短交期體制，及客製化對應專用泵浦小批量生產需求。

 

  (3) 機身輕巧節省安裝空間：SANWA PUMP採高效率葉片，並調整組成零件的設計及製造方法，實現機身輕量且精巧化，最適合組裝進設備中，大幅節省安裝空間。

 

 

 

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