【應用領域】洗淨製程 | 半導體晶圓大廠輸送光阻剝離液（Stripper）：SANWA MPM2多段式 & MP中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦 在半導體晶圓製造過程中，光阻剝離液（Stripper）為關鍵濕製程化學品之一，廣泛應用於微影後的光阻去除與精密清洗。其主要成分具高腐蝕性、強反應性與高純度要求，對輸送設備之密封性、耐化學性及潔淨度提出極高標準。 在此類嚴苛條件下，SANWA MPM2多段式 & MP 中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦，可提供安全、潔淨且穩定的化學液輸送解決方案，廣泛應用於半導體大廠的 Stripper 供液與回收系統。 製程初期，剝離液原料經混合槽自動攪拌與溫控反應，形成高效能溶液。完成後，透過高潔淨輸送系統送往過濾、儲存與供液單元。 在此過程中：MPM2 多段式離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦：適用於系統端（Off-tool）之高揚程主輸送、儲槽移送與回收系統，特別適合大流量與長距離輸送需求。MP 中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦 ：適用於設備端（On-tool）之供液、循環與局部輸送，提供穩定且高潔淨之化學液供應。 液體經泵浦輸送後，進入過濾系統去除微粒，再供應製程設備或分裝。廢液端亦用於集中、再生與回收，建立完整循環系統。 綜合而言，SANWA MPM2 多段式 & MP中型離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦，在高腐蝕、高純度半導體濕製程中，提供零洩漏、高潔淨且長期穩定的輸送性能。無軸封磁力驅動與高耐磨SiC軸承設計，有效降低粒子污染與故障風險，減少維護需求，為製程建立高效可靠的化學品輸送系統。 【產品特色】MPM2 多段式離心式不鏽鋼磁力無軸封泵浦 採多段式結構設計，具高揚程與大流量輸送能力，適用長距離及高壓差系統。 - 採磁力驅動無軸封設計，完全消除洩漏風險，提升輸送安全性。- 標準搭載SiC軸承系統，具低磨耗與高穩定性，支援長時間連續運轉。- 適用於高揚程輸送、系統循環及儲槽移送等應用。 ★ 最大流量: 260 L/min★ 最高揚程: 110 m MP 中型離心式不鏽鋼磁力泵浦 具無軸封、高可靠性與免維護三大設計特點，可有效降低設備整體運轉成本，為中型輸送系統的標準選擇。 - 採磁力驅動結構，完全消除軸封磨損與洩漏風險，提升運轉安全性。- 標準搭載SiC-D軸承系統，提供穩定支撐與長時間連續運轉能力。- 適用於中型輸送系統，具良好流量與揚程表現。 ★ 最大流量: 1,300 L/min★ 最高揚程: 120 m 【品牌特色】 SANWA 創立90年，1983年成功研發出日本第一台不鏽鋼無軸封泵浦，至2010年SANWA PUMP日本市佔率已超過九成。 SANWA PUMP 應用廣泛，舉凡石油化學工業、液晶半導體、新能源、及食品醫藥產業皆有豐富的交貨實績。 SANWA不鏽鋼無軸封泵浦三大特點： (1) 使用壽命長：完全不洩漏，因SANWA PUMP使用高耐蝕性及強度不鏽鋼材質，且為完全密封構造，可長時間安全輸送危險及高價液體，維持穩定運轉。 (2) 使用方式簡易：SANWA PUMP不使用機械軸封，且內部為積木式構造，將零件數量最小化，拆裝及維修上毋須專業技術人員。也因為使用簡易，深受各應用產業客戶肯定，SANWA並進一步建立縮短交期體制，及客製化對應專用泵浦小批量生產需求。 (3) 機身輕巧節省安裝空間：SANWA PUMP採高效率葉片，並調整組成零件的設計及製造方法，實現機身輕量且精巧化，最適合組裝進設備中，大幅節省安裝空間。 【相關產品】
