矽晶圓研磨液製程 | 化學品製造大廠廢液輸送：MITSUWA SM系列 - 自吸式污泥渣漿泵浦-皮帶式 1.5SM-LB

【應用領域】

矽晶圓研磨液製程 | 化學品製造大廠廢液輸送：MITSUWA SM系列 - 自吸式污泥渣漿泵浦-皮帶式 1.5SM-LB

在矽晶圓研磨液的製造與配製過程中，原料混合、研磨液調配、製程設備清洗及管路清潔等作業，可能產生含有研磨顆粒、懸浮固體及化學品殘留物的製程廢液。此類廢液的成分與物理特性會依研磨液配方及製程條件而有所不同，可能具有固體顆粒沉降、黏稠或含有細微懸浮物等特性，因此在廢液收集與後續處理過程中，需要選用適合的輸送設備，以維持廢液處理流程的穩定運作。

在製程廢液收集與輸送階段，廢液通常需由收集槽或暫存槽輸送至後續的固液分離、沉降、過濾或廢水處理設備。若廢液含有研磨顆粒或其他懸浮固體，輸送設備除了需要具備適當的抽吸能力，也需考量固體含量、顆粒大小、液體黏度及化學成分，以降低顆粒沉積、管路阻塞及設備磨損的風險。

此應用可評估採用 MITSUWA SM系列 - 自吸式污泥渣漿泵浦-皮帶式 1.5SM-LB ，作為製程廢液的抽取與輸送設備，銜接前端廢液收集槽與後端處理單元。其自吸式結構可依實際安裝條件，應用於需要從收集槽抽取液體的輸送情境；皮帶傳動設計則可配合適當的轉速設定，調整泵浦運轉條件，以符合現場管路配置及廢液處理需求。實際使用時，仍須依液體特性及設備規格確認適用性。

整體流程中，製程產生的廢液經收集後，由 MITSUWA 1.5SM-LB 抽取並輸送至後端固液分離、過濾或其他適用的廢液處理設備，再依廢液成分進行相應處理。透過適當的泵浦配置，可協助化學品製造廠維持製程廢液收集與輸送的順暢性，降低人工搬運需求，並提升整體廢液處理流程的操作便利性與運轉穩定性。

綜合而言， MITSUWA SM系列 - 自吸式污泥渣漿泵浦-皮帶式 1.5SM-LB 可依矽晶圓研磨液製程廢液的實際成分、固體含量及操作條件進行選型評估，應用於化學品製造過程中的廢液抽取與輸送，協助銜接前端製程排液與後端處理設備，建立穩定且有效率的廢液處理流程。

【產品特色】

SM系列 - 自吸式污泥渣漿泵浦-皮帶式 1.5SM-LB 集高自吸力 × 高固液處理能力 × 高耐磨材質 於一體的重負載輸送解決方案

SM系列 - 自吸式污泥渣漿泵浦 為 MITSUWA 專為應對含固體與高黏度液體輸送需求所打造的產品類別。其中，SM系列-自吸式污泥渣漿泵浦-皮帶式 則是該系列中的一大亮點，兼具高效能與易維護性，廣泛應用於電子及半導體業、化學加工業、水及廢水處理業、鋼鐵業、窯業及陶瓷業等，憑藉其穩定性、耐用性與易維護特性，成為提升製程效率與可靠性的理想選擇。

該系列泵浦專為小流量與高濃度污泥與含固液體輸送設計，結合優異的自吸性能與耐用結構，是各類嚴苛工況中可靠的選擇。1.5SM-LB 具備最大流量達 0.16 m³/min、最高揚程 11.5 m，可穩定輸送黏度高達 300 Pa·s 污泥或濃度高達 30.000 mg/l 活性污泥。

泵體提供 FC200（鑄鐵）、HiCr（高鉻合金）、SCS（不鏽鋼） 等多種材質選擇，具優異耐磨與耐蝕特性，延長設備壽命。

採用無需注水型雙機械軸封（油封式）設計，有效防止液體洩漏並降低運轉成本，搭配 Back Pull Out（後拉式） 結構，使維護作業更加便捷，顯著減少停機時間。

選擇 MITSUWA SM系列 - 自吸式污泥渣漿泵浦-皮帶式 1.5SM-LB 是您處理重負荷、高濃度、高磨損流體的首選泵浦解決方案。

★ 最大流量 : 0.16 m³/min
★ 最大揚程 : 11.5 m

【品牌特色】

渣漿污泥泵浦技術累積超過半世紀

MITSUWA 創業於1954年日本三重縣，60多年來始於自吸式土木工程用泵浦，爾後致力於工業用渣漿泵浦的研發與製造，並以技術創新、品質穩定及全球化經營，成為日本專業泵浦領域的重要品牌。

強調對社會持續貢獻之經營理念

MITSUWA以「泵浦專業團隊」自許，強調持續研發、製造與完善售後服務，並以解決客戶問題、穩定品質與耐用性為核心價值。產品應用橫跨各業界，如電子及半導體業、化學加工業、窯業及陶瓷業、食品飲料業及鋼鐵業等，深受客戶信賴。

MITSUWA主要產品
自吸式污泥渣漿泵浦、自吸式橡膠內襯污泥渣漿泵、自吸式無阻塞污泥泵、非自吸式橡膠內襯污泥渣漿泵

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