化學機械研磨(CMP)製程 | 晶圓廠輸送晶圓製程研磨液 ：NIKUNI UPD / ULD 系列 低噪音型不鏽鋼製渦流泵浦（馬達一體型）
【應用領域】
化學機械研磨(CMP)製程 | 晶圓廠輸送晶圓製程研磨液：NIKUNI UPD / ULD 系列 低噪音型不鏽鋼製渦流泵浦（馬達一體型）
在半導體設備製程中，NMP（N-甲基吡咯烷酮）常應用於光阻剝離、設備清洗及化學藥液循環系統。由於NMP具備高滲透性與揮發性，且製程對液體純度與輸送穩定性要求嚴格，因此輸送設備需具備良好的耐化學性、密閉性及長時間穩定運轉能力，以降低藥液洩漏、污染及流量波動等問題。
於NMP藥液供應與循環製程中，NIKUNI NPD 系列 不鏽鋼製渦流泵浦（馬達一體型）可應用於化學藥液儲槽至製程設備間之輸送系統，包括藥液供給、循環回流、設備清洗及過濾系統等製程段。其渦流式葉輪設計具備低剪切、穩定流量輸送特性，可有效降低液體氣泡產生與流體擾動，特別適合高純度化學液體之穩定輸送需求。
NPD 系列 採用不鏽鋼流體接觸部材，具備良好耐化學性能，可對應NMP等有機溶劑應用環境。馬達一體型結構可節省設備安裝空間，並提升整體系統配置彈性。此外，泵浦具備低振動、低噪音及穩定連續運轉特性，可滿足半導體設備長時間高稼動率之使用需求。
同時，其密閉式結構設計有助於降低NMP藥液揮發與外洩風險，並減少外部污染物混入系統之可能性，進一步維持藥液純度與製程穩定性。
整體而言，NIKUNI NPD 系列 不鏽鋼製渦流泵浦（馬達一體型）可為半導體設備用NMP藥液輸送製程提供安全、穩定且高潔淨度之輸送解決方案，提升設備可靠性與整體生產效率。
【產品特色】
NIKUNI UPD / ULD 系列 低噪音型不鏽鋼製渦流泵浦（馬達一體型）是一款專為少流量、高揚程及低噪音液體輸送需求所設計的工業用泵浦。
採用渦流式葉輪設計，相較一般離心泵浦，流量較不易受系統壓力變動影響，可於高揚程條件下維持穩定輸送性能，特別適合小流量、高壓力之設備系統使用。即使在製程壓力波動環境下，仍可提供穩定流量輸出，提升整體設備運轉穩定性與製程可靠性。
採用特殊渦流式葉輪設計，具備良好的壓力適應能力，即使系統壓力變動，仍能維持相對穩定的流量輸出，適合低流量、高揚程及低黏度液體輸送。此外，短暫停止運轉後亦能迅速恢復正常運轉，滿足設備穩定供液需求。
在運轉性能方面，本系列具備良好的耐氣鎖（Air Lock）及耐水錘（Water Hammer）特性，可降低氣體混入及瞬間壓力變化對設備造成的影響。同時，透過特殊低噪音設計，運轉噪音較一般離心式泵浦低，可減少額外降噪設備的需求。其中，UPD系列 另提供靜音4P馬達型式。
泵浦採用 SUS304 不鏽鋼、PTFE 及 SiC 等材質組合，具備良好的耐蝕性與液體適用性。其中，UPD系列 具備最高8m的自吸能力
憑藉少流量、高揚程、低噪音及穩定輸送等特點，NIKUNI UPD / ULD 系列 低噪音型不鏽鋼製渦流泵浦（馬達一體型）廣泛適用於半導體、電子、純水設備、清洗設備、化學工業及各類工業液體輸送與循環系統，是兼顧輸送性能與運轉環境需求的理想選擇。
★ 最大流量: 190 L/min
★ 最高揚程: 50 m
【品牌特色】
日本二國公司（NIKUNI）成立於 1946 年，總部位於日本神奈川縣川崎市。該公司是工業用泵浦，特別是渦流泵浦的領導製造商，在日本國內擁有壓倒性的市場佔有率。
NIKUNI 以高品質與高精度的技術著稱，其精密零件皆由內部開發與加工。
為了強化全球服務，NIKUNI 於 2017 年與台灣順賀行企業共同出資，在台灣新北市成立了台灣二國股份有限公司，引進日本先進技術與品質管控體系，為半導體、化工、能源等產業提供在地化服務。
核心優勢與技術
- 技術領導地位：身為渦流泵浦技術的先驅，其精密度與可靠性優於一般工業泵浦。
- 獨家微細氣泡技術：研發出專利的「微細氣泡（Micro-bubble）」生成技術，應用於水處理、農業水耕及溫泉設施。
- 全球化佈局：營運網絡涵蓋日本、台灣、美國、上海及亞洲其他地區。
主要產品類別
- 產業用泵浦：包含渦流泵、離心泵以及水環式真空泵等。
- 應用裝置與系統：超微細氣泡生成機（KTM: Karyu Turbo Mixer）、加壓浮除（DAF: Dissolved Air Flotation）套裝設備（MBG: Micro Bubble Generater）、半導體製造設備、以及環境相關裝置。
- 工具機應用：工具機切削液冷卻過濾設備與裝置
應用產業
NIKUNI 的產品廣泛應用於半導體、液晶電子、化工、環境工程、汽車製造、航運、食品、化妝品及農業（水耕栽培）等多元領域。
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